Operating temperature; Silicon carbides; Combustion chambers; Piezoelectric transducers; Pressure sensors; Sensitivity; Room temperature; Engine tests; Jet engines; Liquid cooling; Signal to noise ratios; Ground tests; Pressure oscillations; Engine failure;
机译:使用基于碳化硅(3C-SiC)的MEMS压力传感器开发耐500 A高温的器件
机译:用于压力传感器的多孔硅,碳化硅和DLC涂层场致发射器的研究
机译:用于缸内压力测量的碳化硅电容式压力传感器
机译:800°C时碳化硅压力传感器的特性
机译:用于无线血压测量的3C碳化硅微传感器的制造和表征。
机译:碳化硅(SIC)纳米晶体技术和特性及其在记忆结构中的应用
机译:应用于恶劣环境的碳化硅电容式压力传感器的研究