ELECTROMECHANICAL DEVICES; MANUFACTURING; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS; SILICON CARBIDES; ETCHING; PHOTORESISTS; PATENTS;
机译:利用聚焦离子束技术在微悬臂梁上组装纳米机电装置的方法
机译:在微通道驱动的微电机中,通过微流体液体作为芯片上的实验室的潜在多功能装置
机译:散装HTS的现象,导致对机电装置的适用性大大扩展
机译:微机电封装器件的特征设计和制造技术
机译:使用增材制造方法制造弹性体微流体装置。
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:应用体变形方法对添加制造部件的显微组织和材料性能改善以及残余应力和变形控制