CAPACITANCE-VOLTAGE CHARACTERISTICS; ELECTRICAL PROPERTIES; ELECTROPHYSICS; METAL OXIDE SEMICONDUCTORS; STABILITY; CAPACITANCE; ELECTRIC PROPERTY; METAL OXIDE SEMICONDUCTOR /MOS/;
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机译:开发用于测量VLsI和ULsI集成电路半导体多层膜厚度的XRmF技术。 CRaDa编号Y-1292-0130的最终CRaDa报告