Silicon; Cleaning; Contamination; Surface treatment; Ion spectroscopy; Backscattering; Calibration; Detection; Heavy Ions; Integrated Circuits; Manufacturing; Monitoring; Meetings;
机译:薄SiO_2 / Si_3N_4 / SiO_2叠层的分析:低能重离子弹性反冲检测,高分辨率卢瑟福背散射和二次离子质谱的比较研究
机译:钝化铜集成电路结构的离子束制备,用于电子背散射衍射/取向成像显微镜分析
机译:重离子散射光谱法对全反射X射线荧光分析中的参考物质进行校准
机译:从反向散射测量中提取低能量重离子反应中的集成和差分横截面
机译:微电子集成电路制造过程中铜晶粒中的扩散蠕变和应力松弛建模。
机译:集成有使用0.18μmCMOS工艺制造的读出电路的5A二氧化锆氨微传感器
机译:重离子Rutherford反向散射光谱(HIRBS)对GaAs和Ge接触结构分析的应用