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Applications of Heavy-Ion Rutherford Backscattering Spectrometry (HIRBS) to the analysis of contact structures on GaAs and Ge

机译：重离子Rutherford反向散射光谱（HIRBS）对GaAs和Ge接触结构分析的应用

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K.M. Yu; J.M. Jaklevic; E.E. Haller;
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年度 1985
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