Ion beams; Integrated circuits; Radiation damage; Nanotechnology; Metal oxide semiconductors; Imaging; Deposition; Reliability; Wafers; Electric discharges; Electrostatic charge; Radiation doses;
机译:将X射线纳米断层扫描与聚焦离子束串行截面成像组合:相关断层扫描在集成电路中的应用
机译:聚焦离子束系统对无源集成电路的局部显微观察
机译:用LCVD方法改善集成电路聚焦离子束显微外科手术的良率和周转时间
机译:集成电路中聚焦离子束改性中通过铣削终点现象产生的高纵横比
机译:聚焦离子束IC改性期间钝化膜损坏。
机译:基于实验的轮廓函数用于计算氦聚焦离子束过程引起的块状硅损伤分布
机译:高度集成的光学相控阵:用于光束整形和光束控制的光子集成电路