Silicon; Deposition; Films; Laser Radiation; Laser Spectroscopy; Plasma; Raman Spectra; Transmission Electron Microscopy;
机译:低温催化化学气相沉积(<150℃)和激光晶化的非晶硅膜沉积在多晶硅薄膜晶体管中的应用
机译:通过薄膜沉积和纳秒脉冲激光辐照在多晶硅太阳能电池基板上制备硫超掺杂硅纳米晶层
机译:催化化学气相沉积制备的前驱体非晶硅薄膜的闪光灯退火形成的高质量载流子寿命在5μs以上的多晶硅薄膜
机译:大气等离子体增强化学气相沉积法沉积用于太阳能电池的单晶硅薄膜
机译:单晶β-和α(6氢)-碳化硅薄膜的化学气相沉积,表征和器件开发。
机译:通过水下激光退火结晶成多晶硅薄膜并同时灭活电缺陷
机译:出版商的注意事项:“沉积温度对电子束蒸发的多晶硅薄膜薄膜的影响,二极管激光器结晶”苹果。物理。吧。 104,242102(2014)