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机译:气相处理-全反射X射线荧光分析硅片表面微量元素的方法和机理
TXRF; VPT; Trace metallic contamination analysis; Semiconductor; Silicon wafer;
机译:气相处理-全反射X射线荧光分析硅片表面微量元素的方法和机理
机译:气相处理和全反射X射线荧光分析法分析硅晶片表面的低金属污染
机译:使用气相分解–液滴收集–全反射X射线荧光(VPD-DC-TXRF)对硅晶片上的Pt组元素进行金属污染分析的研究
机译:使用气相分解的金属污染分析研究 - 硅晶片Pt-Gafers的全反射X射线荧光(VPD-DC-TXRF)
机译:利用同步加速器X射线荧光分析单个前太阳能碳化硅晶粒中的痕量元素丰度。
机译:评估用于原位FT-IR光谱的基于硅片的内部反射元件
机译:通过气相分解/总反射X射线荧光分析Si晶片的光元素。