机译:硅声子晶体平板谐振器中弯曲和拉伸横向振动的同时高Q约束和选择性直接压电激励
MEMS; Micromechanical resonators; Phononic crystals; Piezoelectric film; Quality factor;
机译:硅声子晶体平板谐振器中弯曲和拉伸横向振动的同时高Q约束和选择性直接压电激励
机译:弯曲和扩展激发模式对在千兆赫频率下工作的声子晶体的透射谱的影响
机译:硅上压电微机械谐振器中高Q模式的同时询问
机译:ALN压电对硅谐振器中频率选择性质量因子增强函声晶系的设计
机译:由单晶和多晶3C碳化硅薄膜制成的基于MEMS的弯曲模式横向谐振器的能量耗散
机译:Q-系数提高薄膜压电对硅MEMS谐振器通过呼吸晶体反射器复合结构
机译:用于提高AlN硅压电谐振器频率选择品质因数的声子晶体束线的设计