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机译:化学气相沉积反应器中的三维流动,传热和传质特性
Horizontal mocvd reactors; Transport phenomena; Convection;
机译:化学气相沉积反应器中的三维流动,传热和传质特性
机译:多晶硅化学气相沉积反应器中不同通道配置的局部热量和传质特性
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机译:具有现场协同原理的多晶硅化学气相沉积反应器中热量和传质性能的提高
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机译:旋转盘/滞流化学气相沉积反应器中的传热和流动稳定性
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