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化学气相沉积传质现象的研究与反应器设计、工艺参数的优化

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摘要

介绍了化学气相沉积(CVD)中的传质现象研究的最新进展,从传质方程的建立到边界条件确定都进行了详细的介绍,并举例说明了数值分析的结果对反应器设计与工艺参数的优化的指导作用.

著录项

来源
《材料导报》|2000年第3期|13-15|共3页
作者
赵康; 鄢君辉; 刘正堂; 郑修麟;
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作者单位

西安理工大材料学院,西安,710048;

西北工业大学材料科学与工程学院,西安,710072;

西北工业大学材料科学与工程学院,西安,710072;

西北工业大学材料科学与工程学院,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工程材料学;
关键词
化学气相沉积; 传质现象; 沉积速率;

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