ドライエッチングによる平滑なガラス製マイクロ流路の高選択比加工法

摘要

バイオ分析や化学合成などによるガラス製のマイクロ ·ナノ流体デバイスの需要が高まる中，流路加工法の重要性がますます高まりつつある。特に，高温·高圧や有機溶媒耐性を必要とする化学反応用途においてはプラスチックやPDMS等のマイクロ流体デバイスの使用は難しく，耐熱性·物理的安定性·化学的安定性の面からガラス製のマイクロ·ナノ流体デバイスが必須となる。さらに，微小かつ閉空間での液体操 作の面においても，観察が容易な透明であることもガラスの利点であり，また，表面支配の微小空間において表面特性を制御する上で表面修飾が容易なこともガラスの利点として挙げられる。以上の理由から我々のグループは主にガラス製のマイクロ·ナノ流体デバイスを用いて研究を推進し，マイクロ·ナノ流路についても様々な加工法を開発してきた。