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センサ·マイクロマシンと応用システムシンポジウム;電気学会;集積化MEMSシンポジウム
センサ·マイクロマシンと応用システムシンポジウム;電気学会;集積化MEMSシンポジウム
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1.
活性Siナノ薄膜層によるニオブ酸リチウムとシリコンの常温接合
机译：
活性Si纳米薄膜层的铌酸锂和硅的常温结合
作者：
渡辺要
;
多喜川良
会议名称：
《センサ·マイクロマシンと応用システムシンポジウム;電気学会;集積化MEMSシンポジウム》
2.
Cr-N薄膜を用いた小型高耐荷重ロードセル
机译：
采用Cr-N薄膜的小型高耐负荷载荷载荷载荷传感器
作者：
竹野広晃
;
神山竜一
;
宮武正平
;
伊東孝洋
;
丹羽英二
会议名称：
《センサ·マイクロマシンと応用システムシンポジウム;電気学会;集積化MEMSシンポジウム》
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