机译:用反应离子刻蚀和deEP 1UV光刻技术在硅中制成的deEP 1纳米孔的周期性阵列
PHOTONIC CRYSTAL SLABS; ASPECT-RATIO; MEMS STRUCTURES; FABRICATION; TRENCHES; LOSSES; ENERGY; DEPTH; LAG;
机译:用反应离子刻蚀和deEP 1UV光刻技术在硅中制成的deEP 1纳米孔的周期性阵列
机译:使用深UV投影光刻和深反应离子蚀刻制造的激光解吸电离(LDI)硅纳米多型阵列芯片
机译:双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化
机译:全息光刻和新型单步深反应离子蚀刻具有可控侧壁剖面的硅纳米玻璃阵列的实现与新型单步深反应离子蚀刻
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:结合隔离技术和深反应离子刻蚀形成硅纳米结构
机译:双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化