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机译:通过三维蒙特卡洛模拟模拟表面扩散对电子束诱导沉积的影响
ION-BEAM; GROWTH; REPAIR; RESOLUTION; FABRICATION; MICROSCOPY;
机译:通过三维蒙特卡洛模拟模拟表面扩散对电子束诱导沉积的影响
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