...
机译:介电材料中的纳米球单层模板离子辅助纳米特征蚀刻:纳米级离子流形貌的数值模拟
MOLECULAR-DYNAMICS SIMULATIONS; CARBON NANOTUBE GROWTH; REACTIVE PLASMAS; ARC-DISCHARGE; SURFACES; NANOFABRICATION; IMMOBILIZATION; LITHOGRAPHY; FABRICATION; SUBSTRATE;
机译:介电材料中的纳米球单层模板离子辅助纳米特征蚀刻:纳米级离子流形貌的数值模拟
机译:通过掩膜选择性和蚀刻速率的形貌模拟校正,估算离子/自由基通量
机译:低介电材料的氧等离子体刻蚀的第一性原理分子动力学模拟
机译:利用新的通量估算方法开发SF
机译:合理设计超低k介电材料的无损电容耦合等离子体蚀刻和光刻胶剥离工艺。
机译:使用高介电常数(HDC)材料改善CTL-脊柱MRI的电磁场分布:数值模拟和实验
机译:离子辅助Si / XeF2蚀刻中的反应层动力学:离子通量依赖性