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机译:使用两自由度线性编码器测量精密线性空气轴承台的位置和非直线度
measurement; linear encoder; linear air-bearing stage; position; out-of-straightness;
机译:使用两自由度线性编码器测量精密线性空气轴承台的位置和非直线度
机译:精密线性空气轴承台的多自由度误差运动的测量
机译:使用光学变焦激光干涉仪的高精度定位平台,用于线性编码器校准
机译:一种用于位置和直线度测量的两自由度线性编码器
机译:使用14和16 MeV的线偏振光子进行氘核光解体的精密测量。
机译:基于3D正弦槽线性反射光栅和基于三角波的细分方法测量精密线性平台的倾斜运动直线度和位置的方法
机译:在轻子存储环中进行脉冲激发后,基于逐个光束位置监控器数据提高线性光学测量的精度