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机译:具有氦气和氖气场电离源的硅上抗蚀剂的亚10纳米光刻
机译:具有氦气和氖气场电离源的硅上抗蚀剂的亚10纳米光刻
机译:光刻中的气体应用虽然激光源的气体混合物是光刻中最明显的与气体相关的过程,但氮气,氦气,二氧化碳和氢气也有应用。
机译:氖气场离子源-氖纳米加工性能的第一个表征
机译:用UV纳米压印光刻制备用于有机场效应晶体管的子-500nm源极和漏电极,具有低成本硅模具和剥离过程
机译:研究非晶态氢化硅作为汞碲化镉/碲化镉薄膜真空兼容光刻的抗蚀剂。
机译:一种以自然存在的氖21为内标的气相色谱-质谱法定量测定人血中氦的新方法
机译:改进的十八烷基三氯硅烷自组装单分子膜作为正阻层,用于亚稳氦原子束光刻
机译:微电离氘,氖和氦气连续性方程描述振荡的实验观察