机译:硅中二维掺杂物扩散的高分辨率测量
Dopant diffusion; Junctions; Silicon; Selective etch; Microelectronic devices; Transmission electron microscopy; 2-dimensional delineation; Electron-microscopy; Profiles;
机译:硅中二维掺杂物扩散的高分辨率测量
机译:使用硅微环谐振器的横向掺杂剂扩散长度测量
机译:硅中掺杂物扩散的二维自适应模拟
机译:硅中二维掺杂扩散的分析与模拟
机译:通过扫描探针显微镜对半导体上的二维二维掺杂物轮廓进行定量测量。
机译:通过辉光放电光谱研究掺杂元素来表征非晶硅薄膜。电导率和带隙能量测量的相关性
机译:不同硅材料中的少数竞争分载体扩散常数的二维分辨率