机译:用于UHF通信应用的环形锚定RF MEMS轮廓模式圆盘谐振器
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机译:环形锚定RF MEMS轮廓模式圆盘谐振器杂散模式的分析和抑制
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机译:适用于UHF应用的低运动阻力环形轮廓模式氮化铝压电微机械谐振器
机译:用于无线通信的自对准径向轮廓模式微机械磁盘谐振器。
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:UHF高阶径向轮廓模式磁盘谐振器