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机译:基于SU-8的UV-LIGA工艺制造两臂镍铁扭转微陀螺仪
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机译:基于SU-8的UV-LIGA工艺制造的2自由度振动陀螺仪
机译:基于UV-LIGA的太赫兹波纹饲料喇叭的离散制造工艺
机译:一种使用SU-8基于UV-LIGA工艺的1-DOF驱动模式和2-DOF感测模式微陀螺的设计和制造
机译:UV-LIGA惯性型静电传感器的微制造及其应用。
机译:SU-8平面MEMS结构的简单而坚固的制造工艺
机译:利用多层SU-8光致抗蚀剂的uV-LIGA微型制作方法进行亚太赫兹波导
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工