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机译:通过等离子体增强原子层沉积沉积的具有ZrO_2栅介电层的并五苯薄膜晶体管
机译:通过等离子体增强原子层沉积沉积的具有ZrO_2栅介电层的并五苯薄膜晶体管
机译:具有等离子体增强原子层沉积的Al2O3栅极电介质的并五苯薄膜晶体管和逆变器
机译:具有等离子体增强原子层沉积的Al_2O_3栅极电介质的并五苯薄膜晶体管和逆变器
机译:原子层沉积法制备的ZrO_2 / Al_2O_3双层薄膜栅电介质薄膜的特性
机译:对2D晶体等离子体增强原子层沉积高κ电介质的影响及生长
机译:AlGaN / GaN金属-氧化物-半导体高电子迁移率晶体管中作为栅极电介质的氧化镓膜的原子层沉积
机译:远程等离子体增强原子层沉积氧化铪栅电介质的特性使用氧等离子体沉积
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。