...
机译:异丙基甲基苯-环己二烯-钌和O-2低温沉积钌薄膜的原子层
atomic layer deposition; metallic thin films; nucleation; ruthenium; transmission electron microscopy;
机译:异丙基甲基苯-环己二烯-钌和O-2低温沉积钌薄膜的原子层
机译:O-2等离子体预处理对原子层沉积在不同沉积温度下在聚醚砜基板上生长的ZnO薄膜的影响
机译:在低温下空心阴极等离子体辅助原子层沉积晶体AlN,GaN和Al_xGa_(1-x)N薄膜
机译:钌薄膜的高密度远程等离子体增强原子层沉积
机译:薄膜应用的分子工程:区域选择性原子层沉积(ALD)和分子原子层沉积(MALD)。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:在低温下对晶体AlN,GaN和AlxGa1-xN薄膜进行空心阴极等离子体辅助原子层沉积
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究