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机译:甲基三(二乙基氨基)硅烷作为新型单源前体的PECVD合成碳氮化硅层
机译:甲基三(二乙基氨基)硅烷作为新型单源前体的PECVD合成碳氮化硅层
机译:以三(二甲基氨基)硅烷为新型单源前驱体,通过远程氢微波等离子体CVD进行碳氮化硅(SiCN)膜的制备
机译:三(二甲基氨基)硅烷作为新型单源前驱体的远程氢微波等离子体CVD法制备碳氮化硅(SiCN)膜† sup>
机译:不同有机硅前体衍生的碳碳氮化族多孔陶瓷的合成
机译:在先进材料先驱体生产中形成硅碳键的途径的应用:第一部分:作为碳化硅单源CVD前驱体的环状和线性碳硅烷的研究。第二部分:新型氟和氰基取代的聚(亚甲撑亚甲基)的合成与表征。
机译:CsPbBr3钙钛矿粉坚固耐用可大量生产的单源前体:合成表征和光电应用
机译:从四(二乙基脒)铬碳氮化物涂层的低温MOCVD(二乙基脒)铬和该单源前体的热解机理