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机译:原子层蚀刻:我们可以从原子层沉积中学到什么?
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机译:通过集成原子层沉积和原子层蚀刻在TiO_2区域选择性沉积期间反应剂量对抗体的影响
机译:集成的等温原子层沉积/原子层蚀刻超细,用于TiO2的区域选择性沉积
机译:原子层沉积和原子层蚀刻 - 选择性过程的概述
机译:用于器件应用的热原子层沉积和热原子层蚀刻
机译:通过化学蚀刻和通过原子层沉积(ALD)沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微结构和纳米结构
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机译:氧化欠电位沉积硫的薄层电化学研究及其在Cds电化学原子层外延沉积中的应用。 2. sTm研究。 (重新公布新的可用性信息)