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机译:使用各种厚度的溅射PZT膜对膜体声谐振器进行建模和制作
PZT; FBAR; resonant frequency;
机译:使用各种厚度的溅射PZT膜对膜体声谐振器进行建模和制作
机译:ZnO薄膜的光学和结构表征以及通过堆叠由电子束蒸发和射频磁控溅射技术制成的ZnO薄层来实现气体传感器的体声波谐振器(BAW)的制造
机译:由ZnO薄膜制成的厚度扩展模式薄膜体声波谐振器的基本模式的有效机电耦合系数(kt(2))
机译:射频磁控溅射在硅上沉积高取向Ta
机译:声微流PZT换能器和温度补偿薄膜体声谐振器。
机译:在液体中工作的高Q因子横向场激励厚度剪切模式薄膜体声谐振器
机译:Si衬底上溅射PZT薄膜的介电,铁电和压电特性:膜厚和取向的影响