シングルダマシンCu配線におけるパルス電流下のエレクトロマイグレーション挙動

摘要

シングルダマシンCu配線において，パルス電流下のエレクトロマイグレーション挙動を調査した．パルス電流のもとでは，10μsの時定数をもつ，ダメージ緩和現象が観測された．これにより，ドリフト速度の減少，及びeffective incubation timeの増加が発生する．エレクトロマイグレーション誘起応力こう配によるバックフロー効果は，電流波形によらず一定である．また，ドリフト速度の活性化エネルギーも約0.89eVで一定である．