液浸までの露光光学系の変遷

摘要

リソグラフィー分野において，ステッパーがその地位を確立したのは，1980年代であった。 もちろん，現在主流のステップ#12539;アンド#12539;スキャン方式ではなく，ステップ#12539;アンド#12539;リピート方式であり，露光波長も，水銀ランプのg線を使用したものである。 例えば，1984年にキャノンが発売したFPA-1550の露光系仕様は以下のものであった。 露光波長：436nm（g-line） 投影レンズNA：0.35 画面サイズ：14mm×14mm 実用解像力：1.0μm 実用解像力＝k_1#12539;λ/NAの式で知られるプロセスファクターk_1は，約0.8であった。