0.01ナノメートルの垂直分解能

摘要

㈱日立ハイテクサイエンス（東京都港区、川崎賢司社長）は、走査型白色干渉顕微鏡「VSlOOOシリーズ」4モデル（VS1550、VS1540、VS1530、VS1330）を7月1日に発売した。