●韓国ナノ総合技術院300mm試作体制を構築21年上期に本格稼働へ

摘要

韓国の国立研究機関である韓国ナノ総合技術院(大田広域市)は、韓国初となる300mmウエハーを用いた半導体テストベッドの構築を進めている。近日中にArF液浸露光装置を導入する予定であるほか、クリーントラックなど10種類の製造装置を年末までに導入し、2021年上期に本格稼働させる予定だ。