日立ハイテク 200ミリ以下 高速検査 暗視野式ウエハー検査装置

摘要

日立ハイテクは2日、新たな暗視野式ウエハー欠陥検査装置を発売すると発表した。直径200ミリ メートル以下のウエハーが対象で、パターン形状製造工程で発生する欠陥や異 物を高速で検出可能。IoT(モノのインターネッ卜)分野や車載用の高信頼性半導体デバイスで求められる高感度な全数検査に展開する。FEB(電界放出型電子ビーム)測長装置や欠陥形状評価SEM(反射型電子顕微鏡)など他の装置の複合提供も行い、全体で事業拡大を目指す。