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机译:リアクティブスパッタリング法とイオンビームミキシング法を組み合わせた新たな窒化膜作製技術の開発
机译:シュウサンキショウニ3ジイリョウセンターニオケルギャクタイハッセイヨボウノタメノカンゴシノヤクワリニツイテダイ7カイオオサカシリツダイガクダイガクインカンゴガクケンキュウカコウエンシンポジウムコドモギャクタイボウシノタメニセンモンショクトシテデキルコト