第3世代酸化ガリウム100ミリェピウエハー開発ノベルクリスタルテクノロジーが佐賀大と共同で

摘要

タムラ製作所からのカープアウトベンチヤー、ノべルクリスタルテクノロジー(埼玉県狭山巿)は14日、佐賀大学と共同で、第3世代酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハーを開発したと発表した。新エネルギー·産業技術総合開発機構(NEDO)のプログラムの一環。モビリティーなど100A級のパワーデバイスが求められる巿場に展開が可能となる。