出力108W、24時間

摘要

独立研究法人新エネルギー·産業技術総合開発機構（NEDO）は14日、NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン㈱が現在、開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ磯を開発し、エネルギー安定性平均0.5％以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を、24時間連続運転で成功したと発表した。