ボールプレーサ、他

摘要

300mmウエハ対応のボールプレ ーサ。 仕様は、ボール径：75～ 500μm、搭載ピッチ：120μm、フ ラツクス印刷：加圧印刷方式、ウエハ 搬送：自動ハンドラ、外形寸法： 1,750~D×2,940~W×1,700~Hmm。 主 な特徴は以下の通り。