全自動超低湿庫、他

摘要

庫内部の湿度と空気清浄度をコント ロールすることができる全自動超低湿 庫。循環エアチャンバ方式、HEPAフ ィルタの採用で、ISOクラス5相当の 空気清浄度クラス100を実現する。設 定湿度は5～50%、電圧は100V。 強制対流フィルタ方式を用いており、 扉の開閉を行って数分間で浄化する。 従来、ICパッケージや基板、電子部 品は、クリーンルーム内に放置、また はN_2ガスや乾燥空気を引いた保管庫 で管理されていたが、設備投資に加え て維持費が高く、またN_2方式では湿度 を20％以下に下げることが難しかっ た。