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摘要

半導体?電子部品? 精密機器の保管や中 温度?低湿度ベーキ ングとして利用でき る全自動超低湿庫。 主な特徴は、①同 社が独自開発した除 湿ユニットを2台 採用し、低湿度（1～ 30％）?中湿度（室温 25～50℃）な環境を実現、②高性能な静 電容量式湿度センサを採用し、ワンタッチ で温度?湿度の切り替えが可能、③シャッタ 開閉制御にはソレノイドを採用し、シャッ タ開閉時の庫内湿度上昇を最小限に抑えて いる、など。