レーザミラー薄膜形成技術を開発

摘要

（株）島津製作所は、独立行政法人日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門（以下、原子力機構）と共同で、高いレーザ耐性を持つレーザミラー及び高耐力ARコーティング（反射防止膜）を開発した。同社及び原子力機構は高強度のレーザ光であっても破壊されにくいレーザミラー（高耐性レーザミラー）の研究過程において、レーザ光によってミラーが破壊されるメカニズムを解明。もともとアモルファス（非晶質）膜である誘電体多層膜に高強度なレーザ光が照射されると、誘電体多層膜の結晶化が進み、結晶化された部分から順次破壊が起きることを発見した。