電解水の特徴とプリント配線板への応用

摘要

無酸素銅の洗浄工程において、アルカリ性電解水を使用した脱脂洗浄は、従来の薬品を用いた洗浄方法と同等の洗浄性が得られ、精密洗浄が可能である。さらに、界面活性剤や微粒子をリンスする作用もあり、この作用の要因としてアルカリ性電解水中の水素ナノバブルの存在がある。