'ムーアvsノンムーア'半導体二大潮流に対応でガス·機器はどう変わるのか

摘要

シリコン半導体市場は歴史の転換点を迎えている。ムーアの法則に従うメモリ、そしてその法則に乗らないセンサの二大潮流が渦巻いている。メモリは最先端DRAM、フラッシュメモリは3D構造を指向、開発を急いでいる。高集積化、超微細化に加え、立体化が加ゎったことで、ALDや採掘エッチングなど新しいプロセスが必要になる。これはムーアの法則に従った変化である。