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机译:不同功率和氩气通量对使用大功率脉冲磁控溅射系统沉积的金刚石状碳涂层的摩金型碳涂层的摩擦性能和高速钻孔性能的影响
Chien Kuo Technol Univ Inst Mechatronopt Syst Changhua Taiwan;
Natl Cheng Kung Univ Dept Mech Engn Tainan Taiwan;
Natl Cheng Kung Univ Dept Mech Engn Tainan Taiwan;
HiPIMS; micro-drill; tribological properties;
机译:通过高功率脉冲磁控溅射制备的机械和摩擦学性能和高速钻孔性能,具有不同氮和乙炔通量率的高功率脉冲磁控溅射
机译:脉冲功率和氩气流量对使用大功率脉冲磁控溅射技术制备的类金刚石碳涂层的机械和摩擦学性能的影响
机译:在大功率脉冲磁控溅射系统中添加烃类气体对类金刚石碳膜性能的影响
机译:磁控溅射沉积的TiAln-Ag涂层的变化温度摩擦学性质
机译:调制脉冲功率磁控溅射沉积氮化钛和氮化铝钛涂层的摩擦学和结构性能
机译:AlN中间层对大功率脉冲磁控溅射SiC薄膜结构和化学性能的影响
机译:N2 /空气流量比对大功率脉冲磁控溅射沉积alCrsiN涂层组织和性能的影响
机译:含氮,氩,氮和氩离子束合成含硅类金刚石碳(si-DLC)涂层的磨损和摩擦学性能