机译:互换厚度测量的相互校准方法的不确定性
Korea Res Inst Sci &
Stand Surface Anal Team Daejeon 34113 South Korea;
Measurement Assurance Tech Inst Sejong 30130 South Korea;
Korea Res Inst Sci &
Stand Surface Anal Team Daejeon 34113 South Korea;
Korea Res Inst Sci &
Stand Surface Anal Team Daejeon 34113 South Korea;
uncertainty; ultra-thin oxide; mutual calibration; thickness measurement; linear regression method;
机译:通过相互校准可追踪NM氧化膜的厚度测量
机译:一种相互校准的方法,以验证纳米氧化膜的厚度
机译:中能离子散射光谱法的超薄HFO2膜的可追踪厚度测量
机译:在硅上沉积超薄氧化物:实时膜厚和晶圆温度测量
机译:激光诱导荧光技术的校准,该技术适用于通过使用电容表在柴油发动机气缸套上的油膜厚度测量。
机译:用于细根测量的Minirhizotron数字影像的可追溯校准性能指标和不确定度估计
机译:表面和界面分析的工业应用。 ESCA的超薄Si氧化膜厚度测量。
机译:金属超薄膜的计算特性中的厚度依赖性