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机译:在最小地形图案上的正交对齐嵌段共聚物线图案
Univ Massachusetts Dept Polymer Sci &
Engn 120 Governors Dr Amherst MA 01003 USA;
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Lawrence Berkeley Natl Lab Mat Sci Div 1 Cyclotron Rd Berkeley CA 94720 USA;
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Korea Univ Dept Chem &
Biol Engn 145 Anam Ro Seoul 02841 South Korea;
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block copolymers; directed self-assembly; orthogonal alignment; solvent-vapor annealing; line patterns; topographic patterns; cylindrical microdomains;
机译:在最小地形图案上的正交对齐嵌段共聚物线图案
机译:由单轴对齐的地形图案驱动的薄膜中的不对称嵌段共聚物的定向自组装
机译:使用最小形貌图指导嵌段共聚物薄膜的自组装
机译:使用嵌段共聚物定向自组装的亚15 nm集成电路接触孔图案的小型地形导引模板的设计策略
机译:使用化学和地形图图案化的基材直接组装嵌段共聚物,以控制和引导各种纳米域的顺序。
机译:通过自组装形成层状聚苯乙烯嵌段聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物通过纳米压印光刻技术制备的纳米图案。
机译:亚10 nm地形指导图案中嵌段共聚物的自组装形态