机译:具有低热预算的金属氧化物薄膜的高通量露天等离子体激活
Yonsei Univ Sch Elect &
Elect Engn 50 Yonsei Ro Seoul 120749 South Korea;
Stanford Univ Mat Sci &
Engn Stanford CA 94305 USA;
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activation; open-air plasma; indium-gallium-zinc oxide; metal-oxide network; thin-film transistor;
机译:具有低热预算的金属氧化物薄膜的高通量露天等离子体激活
机译:在低压,热非平衡,高密度感应耦合等离子体中合成的nc -Si薄膜的温度相关特性
机译:通过低温氮气退火增强升高金属金属氧化物薄膜晶体管的热稳定性
机译:用于大面积,高通量太阳能电池生产的新颖的低热预算薄膜多晶硅制造工艺
机译:低热预算多晶硅-锗/硅薄膜晶体管技术
机译:通过使用富氢Al2O3介电层实现具有极低热收支的高性能a-InGaZnO薄膜晶体管
机译:具有低热预算的金属氧化物薄膜的高通量露天等离子体激活
机译:用于大面积,高通量太阳能电池生产的新型低热预算薄膜多晶硅制造工艺(最终报告)