Исследование характеристик магнетронных распылительных систем несбалансированного типа

摘要

Представлены результаты сопоставительного анализа характеристик четырех конфигураций планарных магнетронных распылительных систем. Проведены исследования особенностей построения магнитных систем устройств несбалансированного типа. Установлены закономерности влияния характеристик разряда на параметры потоков энергетичных частиц на подложку.