脉冲磁控真空计不拆卸测量方法研究

摘要

讨论了真空灭弧室真空度测量的一般方法及其缺陷,针对现有的脉冲磁控法只能拆卸测量的缺陷,设计了∏形线圈并给出了部分测量结果。