Исследовано влияние состава плазмообразующего газа на энергетическое распределение положительных ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O_2+Ar (0-100%) при давлениях газа 1-3 Па и токах разряда 10-30mA. Обнаружено, что при содержании аргона в смеси более 20% приводит к образованию ионов Ar~(2+) и смещению максимума функции распределения ионов в сторону больших энергий.
展开▼
