シリコンウエーハに起因したデバイス不良とウエーハエンジニアリング：構造欠陥および不純物汚染の導入と評価

摘要

今回は、ウエーハの製造プロセスおよびデバイスの製造プロセスにおける構造欠陥および不純物汚染の導入に関して解説するとともに、構造欠陥、不純物およびウエーハの表面状態の評価方法を解説する。