パターン付きウエーハ外観検査装置：INSPECTRA 7000Rシリーズ

摘要

半導体ウエーハの品質保証のために外観検査の重要性はますます高まっている。この課題を解決するために、東レエンジニアリングでは全数検査が実現できる高速検査装置を開発してきた。 ここでは最新機種である"7000R"シリーズについて紹介する。