我社の新製品について：半導体業界等における静電気計測と対策用の新製品

摘要

半導体業界やフラットパネルディスプレイ業界をはじめとしたエレクトロニクス産業では、静電気トラブルが多発しており、静電気計測と対策の重要性が増してきています。 例えば、携帯電話、デジタルカメラ等を代表とするデジタル家電製造分野では、製造工程で製品内にごみを混入させないように、製造環境のクリーン化対策や除電、除塵対策が行われていますが、市場コストダウン要求に伴い、組立工程の簡素化、各種自動化装置の小型化が進hでおり、静電気対策機器であるイオナイザーに対してもこれに対応した小型化の要求が多くありますので、先ず小型送風型イオナイザーの新製品(KD-740B)と除電·除塵機能を有した新型イオナイザー(NIF-200)を紹介します。 一方、フラットパネルディスプレイ業界では、パネルの大型化に伴い、均一に広範囲を除電が可能なイオナイザーの要求がありますので、これに対応したイオナイザーの新製品(LFA-05B)を紹介します。 さらに、製造工程内での静電気管理電圧の低下は、作業者が静電気測定を行い正しい測定値を得ることが難しい状況になってきています。 そこで電位センサーを製造装置や検査装置内に固定し、静電気を連続監視できる新製品の静電気電位監視装置(KSD-0120)を紹介します。